반도체 소자공정기술
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| 저자정보 | Michael Quirk,최성재 옮김 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 출판사 | 淸文閣 | ||||
| 책소개 | 반도체 공학 전공서. 이 책은 반도체 산업의 전망과 반도체 물질의 특성, 소자기술, 실리콘과 웨이퍼 제조, 반도체 제조공정에서의 화학물질, 공정실의 가스제어, IC 제조공정의 개관 등으로 구성되었다. | ||||
| 출판연월 | 2006 | ISBN | 9788970888989 | ||
| Vol | 주제분야 | 569.4 [기술과학 > 전기공학, 전자공학 > 전자공학] |
총 대출건수 | 2,770 | |
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