반도체 공정개론
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| 저자정보 | Richard C. Jaeger 저;윤일구 共譯 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 출판사 | 교보문고 | ||||
| 책소개 | 이 책에서는 미소전자소자 제조의 기초가 되는 개개의 단위 공정을 초반에 소개한 후 후반부에 이 단위 공정들로부터 이루어진 실제적인 MOS,MEMS 등의 소자와 집적 기술을 다루었다.또한 공정마다 이론적인 내용과 함께 공정에 사용되는 실제적인 응용을 깊이있게 다루었으며, 각 장의 끝에는 읽는 사람들이... | ||||
| 출판연월 | 2002 | ISBN | 9788970854915 | ||
| Vol | 주제분야 | 566.36 [기술과학 > 전기공학, 전자공학 > 전산공학] |
총 대출건수 | 1,134 | |
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