반도체 CMOS 제조 기술
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| 저자정보 | 김상용,이병철 공저 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 출판사 | 일진사 | ||||
| 책소개 | CMOS 제조공정기술을 기준으로 MOSFET 제작 구조, 웨이퍼 종류와 특성, 소자의 제작공정을 기술하였다. 단위공정의 최적화를 위해 요구되는 사진, 식각, 확산, 평탄화, 세정, 이온 주입, 박막 공정들의 특성과 기본 공정기술 내용으로 구성하였다. | ||||
| 출판연월 | 2016 | ISBN | 9788942914920 | ||
| Vol | 주제분야 | 569.4 [기술과학 > 전기공학, 전자공학 > 전자공학] |
총 대출건수 | 40 | |
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