반도체 소자 공정기술
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| 저자정보 | Michael Quirk,최성재 옮김 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 출판사 | 자유아카데미 | ||||
| 책소개 | 반도체 소자 공정기술에 대한 개론서. 반도체 재료의 특성, 소자 제조기술, 오염 문제, 계측장비, 화학물질의 취급 등 반도체 관련 기초지식과 산화, 증착, 금속화, 포토리소그래피, 굽기, 정렬, 노출, 식각, 이온주입 등 반도체 소자 제조에 사용되는 모든 공정에 대한 최신 기술에 대해 상세하게 설명한다. 간단한... | ||||
| 출판연월 | 2006 | ISBN | 9788973389773 | ||
| Vol | 주제분야 | 569.4 [기술과학 > 전기공학, 전자공학 > 전자공학] |
총 대출건수 | 139 | |
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